二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9233213 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide
ID: 9233213
晶圓大小: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12".
TEL(TOKYO ELECTRON)TEL/TOKYO ELECTRON TELONDY TELINDY Oxide是TEL/TOKYO ELECTRON開發的一種蝕刻器/asher設備,用於生產高品質的薄膜沈積物和復雜的多層結構。該系統利用化學氣相沈積和等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)技術將材料沈積到矽片上。這使得它適用於制造尖端半導體器件和用於小型化和精密器件工程的儀器。TEL TELINDY氧化物具有幹蝕能力,能精確控制流速和氣體等工藝參數。這些參數決定了蝕刻工藝的輪廓和產生的薄膜厚度。該機組裝有一個4英寸的反作用室,允許沈積更大面積的矽片組件。此外,該機還具有高精度的兩級蝕刻能力.第一階段是基底蝕刻工藝,用於創建組件的基本結構和形狀,第二階段是頂部蝕刻工藝,以細化細節。使用TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide的蝕刻是非常精確的,無論使用單層或多層蝕刻工藝。這使其成為生產用於液晶屏、CCD和MEMS等設備所需的錯綜復雜的陣列基板的理想選擇。在安全性方面,TELINDY Oxide工具具有緊急斷電(EPO)開關和緊急通風口資產。在緊急情況下,EPO開關將立即關閉模型,而通風口設備將疏散內部的空氣和氣體。該系統還設有加壓反應室,減少泄漏或汙染的可能性,同時確保穩定的反應環境。最後,TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide單元配備了用戶友好型控制面板。這允許用戶保存設置和程序,提高蝕刻速率,並復制蝕刻結果以快速開發產品。此外,該機器還配備了觸摸屏液晶顯示器和數據跟蹤器,用於監控註射量、氣體流量和壓力自主性。總體而言,TEL TELINDY Oxide工具是一種先進的蝕刻器/asher資產,能夠執行具有復雜多層結構的精確、高質量的蝕刻。它的傳感器和監測系統保證用戶不會遇到氣體泄漏或汙染等任何問題。此外,其用戶友好的控制面板確保流程參數易於跟蹤和編輯。
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