二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9253819 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide（常縮寫為TEL Oxide）是一款最先進的幹等離子體蝕刻器，來自業界領先的TOKYO ELECTRON和TEL/TOKYO ELECTRON ON ON。TEL氧化物是高精度金屬氧化物蝕刻、氧化物灰化、表面清潔的理想工具。TOKYO ELECTRON OXIDE的獨特之處在於它將等離子束準直在基板之前，產生氧氣和其他反應性氣體的均勻分布，從而形成一致的蝕刻輪廓。這使得TEL/TOKYO ELECTRON Oxide成為金屬和金屬氧化物蝕刻的最愛，需要深層、揮發性的蝕刻圖樣。TEL Oxide是簡化蝕刻工藝的單室幹蝕刻器。它使用單晶片工具蝕刻金屬氧化物基板。它還使用一個遠程淋浴頭，允許傾斜入射蝕刻，並將蝕刻光束引導到需要增加蝕刻的區域。其特點包括集成電子平衡器，允許精確的過程控制。TOKYO ELECTRON OXIDE也有氧氣與砷水平的自動調整，以可靠的操作和改進的工藝結果。此外，它還配備了防靜電系統，對靜電場提供了極大的防護。TEL/TOKYO ELECTRON OXIDE也有內置的溫度控制和氣體分配系統，這是等離子體蝕刻和氧化成功所必需的兩個關鍵部件。溫度控制系統有助於穩定溫度以確保一致的蝕刻結果。氣體分配系統確保了反應氣體在整個腔室中均勻分布的最佳註入。此外,TEL Oxide還具有無與倫比的通用性,可跨越廣泛的蝕刻工藝。它支持小型蝕刻應用程序（如MEM設備中使用的應用程序）,以及更大、更復雜的蝕刻應用程序（如薄膜晶體管和其他高端應用程序）。TOKYO ELECTRON OXIDE非常適合需要金屬和金屬氧化物基材可靠而強大的蝕刻能力的客戶。這種最先進的幹蝕刻器/灰燼提供了業界領先的特性和功能,是精密蝕刻和氧化的完美工具。