二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9282573 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide是一款高級蝕刻器/asher設備，設計用於高精度蝕刻和灰化應用。適用於多種行業，包括半導體、面板、平板顯示器（FPD）、離散半導體、數據存儲、MEMS、薄膜頭制造。TEL TELINDY Oxide是一種多功能蝕刻器/asher系統,其設計具有改進的蝕刻/灰化精度和多功能性,可處理多種材料和復雜的圖樣。它能夠蝕刻和粉刷各類氧化物、氮化物、聚酰亞胺和薄膜，用於先進的制造目的。該單元配備了最新技術，如實時粒子分析儀，以及專有的流量控制軟件。這樣可以確保整個晶片或基板表面的均勻蝕刻/灰化,即使在掩蔽需要多種深度的層時也是如此。機器包括多種蝕刻和灰化過程，包括「直」、「曲線」、「多堆棧」蝕刻/灰化。它具有從室溫到900°C的可調溫度範圍和集成的超低壓化學輸送技術。這提供了對蝕刻/灰化過程的出色控制,並允許操作員精確地定制蝕刻/灰化過程,以適應不同應用程序的各個過程要求。該工具還包括多項安全功能，如自動排氣調節資產、互鎖安全門和緊急停止按鈕。它采用全自動排氣模式，積極調節排氣流量，以維持理想的操作環境，而其集成的聯鎖安全門有助於防止任何未經授權的人進入機器。TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide為運營商提供直觀且用戶友好的圖形界面（GUI）。GUI包含操作設備所需的所有信息,旨在輕松引導操作員完成蝕刻/灰化過程的所有階段。這使操作員能夠快速高效地配置系統以滿足他們的需求和應用。總而言之，TELINDY Oxide為各種不同的行業提供了一個先進的蝕刻/asher單元。其高度的精確度和多功能性使得它非常適合蝕刻和粉刷復雜的圖樣和材料。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide憑借其直觀的GUI、自動化的安全功能和可調節的溫度控制,確保了所有蝕刻和灰化應用程序的可靠和一致的性能。