二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9311153 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide是一種用於蝕刻和灰化半導體晶片的先進設備。它使用濕法化學蝕刻將一層特定厚度的氧化物沈積在下面的基板上。該氧化層隨後可用於集成電路中的隔離、微波和天線應用中的介電層、電子器件中的表面鈍化或光電器件中的紫外線防護等多種應用。TEL TELINDY Oxide配備了高性能、低容量、抽入式化學儲存設備，使其能夠高效、精確、有效地運行。該裝置處於封閉系統中，防止危險化學品逃逸到環境中。其自動化的化學輸送裝置提供了對氧化物沈積過程的精確控制，允許精確的厚度。該裝置利用計算機控制的沐浴溫度和氣體壓力來達到最佳蝕刻性能。該機還采用氣流控制，以提高精度和均勻性。這些特性的結合使得TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide在連續批次和跨不同晶圓尺寸時保持一致的氧化物沈積。該裝置采用自動溫度控制工具，用於在蝕刻過程中保持恒定溫度。這有助於設備達到最寬的溫度範圍,而無需手動調整溫度設置。此外,該設備還可以使用不同類型的掩碼和晶片,從而減少了在生產過程中對新掩碼和晶片的需求。該裝置還具有自動加蓋功能，有助於保護晶片在蝕刻過程中免受物理損壞或化學汙染。資產還包括在工藝容器底部使用真空的差動抽水。這對防止容器內顆粒堆積很有用。最後,該模型配備了診斷功能,可以檢測設備的任何故障並快速向操作員發出警報,以便采取糾正措施。綜上所述，TELINDY氧化物是半導體晶片的高級蝕刻器/灰化器。它使用濕法化學蝕刻以精確的方式沈積一層氧化物，提供不同晶圓尺寸的均勻性。該裝置設計有自動化的化學品輸送和溫度控制系統，以及自動加蓋和差速泵等其他功能。診斷功能有助於檢測設備的任何故障或不規則性,從而確保平穩運行和可靠的結果。