二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M #9223290 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M是一種用於半導體器件制造的蝕刻/asher設備。它是專為光致抗蝕劑剝離和蝕刻在IC制造過程中的應用而設計的，提供了對基板上特征的高效和精確的蝕刻。該系統由3軸X-Y級、機架升降機單元、平臺和滾動轉向器構成。運動驅動程序由伺服電動機提供動力,以實現更快、更平滑的運動。它還有一臺附有PC的PLC機器,可以遠程監控生產過程。X-Y級可以為蝕刻和剝離提供精確的圖案放置。利用其集成的雙跟蹤機制，用戶可以精確掃描和跟蹤X-Y方向的基板，以便在蝕刻前定位特征。該工具還配備了多種蝕刻/剝離源選擇，包括以太網和臭氧源，從而實現更高的吞吐量和更高效的工藝。TEL TELINDY Plus A-M還具有完全封閉、最先進的腔室設計。不銹鋼室降低了顆粒和其他汙染的可能性，導致了更高質量、可重現的結果。該室配有20臺車站精密機械，用於加強對蝕刻和剝離過程的控制。資產還有一個橫截面成像模型和一個基板檢驗設備，允許實時監測蝕刻和剝離過程。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M專為最高生產力和高功能性而設計。該系統具有集成的高度測量、高級運動控制以及減少運輸和基板加載過程中誤差的基板加載單元。它還具有多站點過程控制，易於處理，並提高了復制精度。此外，該機還配備了集成氣體洗滌器，以提高安全性和控制系統的完全集成。最後，TELINDY Plus A-M是一種用於半導體器件制造的蝕刻/asher工具。該資產融合了先進的功能和技術，如3軸X-Y級、機架升降機模型、橫截面成像設備和基板檢查系統。它的高度測量單元，先進的運動控制，以及集成氣體洗滌器允許更高效和準確的蝕刻/剝離過程。憑借其先進的設計和集成的功能，該機器為用戶提供了一個可靠的IC制造過程解決方案。