二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293597784 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K是一種蝕刻器或asher，用於各種薄膜沈積和加工技術。它主要用於半導體器件的制造。TEL TELINDY Plus ALD High-K配備了高度穩定且可重復的配方管理設備，允許在過程中重現。蝕刻器還具有低顆粒計數設計，確保清潔制造。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K是薄膜沈積蝕刻的綜合系統。它具有高達1.3x10-6 Torr的真空兼容性，並具有多晶片批處理單元。該蝕刻器還配備了多室機，能夠進行順序處理和沈積技術，提高生產率和交付能力。該工具還包含多個源代碼行。電感耦合等離子體（ICP）源線允許直接等離子體過程，如蝕刻、灰化和沈積。磁線源還具有反應性離子蝕刻（RIE）能力。該腔室有一個配方控制的可編程溫度腔室，設計用於超高真空處理。該室還具有各種安全特性，如O2和H2傳感器、反應室互鎖資產、汙染時生產停止等。該模型還具有數據記錄設備，可以記錄晶圓處理和沈積結果。TELINDY Plus ALD High-K是一個可靠的蝕刻系統，可以有效地整合到任何半導體器件生產線中。它是一種通用工具，可用於各種蝕刻、灰化等薄膜沈積任務。它具有強大的基礎架構和安全功能,可確保清潔高效的生產。