二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293644138 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K是由TEL, Ltd開發的蝕刻器/asher。（TOKYO ELECTRON）.這種先進的蝕刻工具用於制造具有高精度的半導體器件。其先進的特點使其適合廣泛的制造工藝，包括但不限於：形成高精度裝置，包括溝槽、凹槽和結構；半導體晶片的等離子體蝕刻；高k介電材料的原子層沈積（ALD）。TEL TELINDY Plus ALD High-K是一種蝕刻器/asher,可精確控制蝕刻參數和工藝周期時間。利用磁控管濺射蝕刻源將反應性離子蝕刻（RIE）層沈積到晶圓表面。然後用可旋轉陰極蝕刻此RIE層,以創建所需的結構。該蝕刻的確切深度是可以實現的，另外還有納米範圍內的幾何控制。此外，TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K的電子設備優化了濺射過程本身的參數，實現了層制造的完美幾何精度。電子設備還包括三個獨立控制的源，允許一個最佳和可重復的過程流。該工具還可以用於高k介電材料的原子層沈積（ALD），因為它能夠精確控制薄膜沈積。ALD工藝利用氣態前體形成單層，而工具的交流電容耦合等離子體技術提高了層形成的精度。ALD工藝形成的層的總厚度可以由刀具準確確定，因此可以精確調整。TELINDY Plus ALD High-K在整個晶片表面上具有極好的重復性和均勻性。因此，該工具適用於晶片的制造和生產，其精度和效率均高於傳統方法。利用這種蝕刻器/灰化器，半導體器件制造商能夠在每一個周期生產出性能更好、產量最佳、質量更高、可靠的產品。