二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293665667 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K 蝕刻器/asher是在半導體基板上創造高品質薄膜塗層和互連的最先進的設備。它使用等離子體增強原子層沈積（ALD）將高k材料（介電常數超過二氧化矽（SiO2）的材料）沈積在基板上。TEL TELINDY Plus ALD High-K系統是一個成熟的蝕刻單元，能夠一步步對薄膜進行圖樣化和變薄。該蝕刻器設計用於傳統幹蝕刻機中無法使用的高k薄膜，但現在可以使用TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K進行圖案化和蝕刻。該蝕刻器的特點是配備了高級蝕刻和沈積硬件的大型工藝室，以及提供精確工藝監控的智能工藝控制工具。該工藝室采用不銹鋼結構，能夠安全有效地控制每個工藝參數，達到高質量的效果。該資產還配備了先進的光學和診斷設備，包括數字成像顯微鏡，用戶可以密切關註薄膜沈積過程。蝕刻器由專有的工藝氣體輸送模型提供動力，該模型允許精確控制沈積速率、薄膜厚度、均勻性和其他重要參數。它還能夠沈積多種材料，如二氧化矽、氧化鋁、氧化全新和氮化鈦等。此外，該設備還與各種基板兼容，包括矽、砷化的、低k電介質和塑料制成的基板。除了蝕刻功能外，TELINDY Plus ALD High-K 蝕刻器/asher還提供塗層和鈍化功能。它配備了先進的沈積軟件，允許用戶為不同的工藝選擇不同的工藝配方。該軟件還使用戶能夠快速創建和保存用於蝕刻和沈積的進程,使他們能夠根據作業的要求在進程之間快速切換。此外,系統的高級安全功能,包括離子束掃描儀和Foup Cleaner,確保設備在工具使用壽命期間安全可靠地運行。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K 蝕刻器/asher是一種強大可靠的高k膜處理工具。該蝕刻器提供沈積工藝的精確控制，以及各種材料和基材的蝕刻和沈積，使其成為先進的半導體研發的理想選擇。