二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #9128140 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K是一款為高級蝕刻和灰化工藝而設計的蝕刻器/asher。它是為低K氧化物、高K介電堆棧、線條/空間圖案等材料而設計的。它是一個完整的設備，結合了蝕刻和ashing與先進的過程控制，以實現更快，更精確的處理。TEL TELINDY Plus ALD High-K系統有一個獨特的拋物面微爐裝置，能夠在高溫條件下進行優化，提供高的蝕刻和灰化速率。該機還配備了先進的工藝控制，以確保更好的設備公差和可重復性。它具有多個自動進程定序器（APS），可用於快速編程所需的進程，並擴展工具的多功能性和靈活性。它還具有兩個獨立的、高靈敏度的石英晶體質量監測器和氧化還原（OR）蝕刻控制，以確保高工藝重復性和均勻性。該資產還具有先進的汙染控制機制（CCM），以保持最高水平的晶圓清潔度。CME工藝是一套獨特的專有技術,用於防止快速恢復並在此過程中保持高水平的等離子體清潔度。它還擁有專利開放管設計和氣體淋浴，以盡量減少汙染和化學品，同時提高工藝性能。該模型還具有高度集成的真空設備,包括高性能主泵、副泵、渦輪分子泵和真空開關閥,它們都是為高性能操作和最小汙染而設計的。它還有一個自動化的原位粒子測量系統，可以監測、測量和記錄加工區域各個位置的粒子大小。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K單元的設計目的是為先進的設備制造提供可靠、可重復的蝕刻和灰化。適用於兩英寸及更大、蝕刻/ashing速度高達高速的較大直徑，以及具有晶圓級高工藝重復性和器件耐受性的低K氧化物、高K介電堆棧和線空圖案。它具有獨特的特點，是許多先進設備制造應用的理想蝕刻器/asher。