二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293609248 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD是一種用於微電子制造工藝的高精度電鍍設備。它是兩臺機器的組合-一臺預幹蝕刻機和一臺asher。蝕刻器使用自由基從底物中去除化學蝕刻材料以及蝕刻後殘留物。這一過程有助於制備最佳沈積和鍍層的基材。Asher還使用自由基在基材和被塗抹的材料之間形成緊密的鍵合，使其成為高層對層粘合的理想裝置。TEL TELINDY Plus ALD可用於多種應用，包括電鍍和物理氣相沈積（PVD）。它能夠同時蝕刻多層薄膜和材料。它配備了端點檢測，用於對工藝進展和化學進行精確監測。該系統的初級加工室由不銹鋼制成，設計為能有力地控制壓力和溫度。腔室在尺寸方面提供了靈活性，使操作員可以一次對多種基板進行電鍍。此外，該室減少了粒子的產生，提供了一個無汙染的環境。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD具有集成的安全功能以確保安全操作,包括壓力開關、光學互鎖傳感器以及代碼讀取器和條形碼支持。其用戶界面提供了參數設置、圖形指示器和板載指令的直觀界面。此外,TELINDY Plus ALD還配備了控制整個蝕刻和沈積過程的高級控制系統（ACS）軟件。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD旨在提供經濟高效且可重復的結果。其高精度的蝕刻和灰化工藝達到了微電子元件的最佳尺寸。其流程監控能力提高準確性，降低整體風險。此外，其集成的安全裝置、用戶友好的界面和自動化軟件使其成為微電子制造的理想蝕刻器和灰化器。