二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293638697 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD是由TEL （TE）設計的高度精密的蝕刻器/asher。它是為制造先進的微電子和光學元件而設計的最先進的設備。TEL TELINDY Plus ALD用奇異粒子激發原子，然後進行化學修飾。此過程將從芯片表面移除或「蝕刻」材料,然後再用於新的層構造。得到的薄膜可用於多種電子和光子應用。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD系統采用了幾種先進的蝕刻/沈積技術。化學氣相沈積（CVD）室是TELINDY的步驟之一。該腔室蒸發氣相前體，並將反應性物質沈積到基質上，形成薄而均勻的薄膜。腔室配有高精度的百葉窗和濾鏡，可以精確蝕刻所需的區域。電子束聚類工具可提供高分辨率、高縱橫比和高密度材料的高分辨率圖樣。該工具將一束緊密的電子束撞擊到基板上，然後引導電子蝕刻、形成或發展特征。物理氣相沈積（PVD）室也是TELINDY Plus ALD技術的一部分。PVD用於構建垂直復雜的結構。該腔室包含蒸發源、屏蔽層和惰性大氣，以將所需的物質沈積到基板上。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD也採用多種濺射技術來蝕刻、沈積和複製結構。這些技術采用一系列物理或化學濺射工藝在芯片上蝕刻、沈積和復制半導體級材料。TEL TELINDY Plus ALD 蝕刻器/asher是一款功能強大、精密的工藝工具。由於利用了最高精度的元件和工藝，制造出最先進的微電子和光子元件是最完美的蝕刻器/粉碎器。這臺機器具有完整的蝕刻、沈積和濺射工藝，能夠產生最優質的產品和效果。