二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818326 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD（原子層沈積）是一種堅固的蝕刻設備,可為晶圓級和設備級應用程序提供一系列半導體處理功能。它高度集成了德加室、敏感器、負載鎖、終端效應器機器人、多室淋浴頭、反作用室和微型環境模塊等廣泛的組件。該系統用於材料沈積、反應性離子蝕刻、熱退火和快速熱退火等應用。TEL TELINDY Plus ALD在任何厚度的基板上提供卓越的蝕刻均勻性和出色的工藝可重復性,無論晶圓大小如何。該單元具有閉環溫度控制能力，允許在臨界蝕刻操作中精確控制溫度。它提供了一個可以容納大晶圓和大批量生產的大批量加工區。此外,其集成的多步驟蝕刻工藝為先進的制造工藝提供了更復雜的結構形成。除了強大的蝕刻能力外，TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD還提供了發達可靠的軟件工具。它提供集成的配方管理器和開放式執行控制、集成的多步驟過程、實時爐床監控以及增強的氣體輸送監控。通過使用此工具,工藝工程師可以輕松地優化蝕刻工藝,從而在最短的停機時間內實現更高的吞吐量。TELINDY Plus ALD也被設計為提供高品質的蝕刻結果。它能夠產生納米級厚膜蝕刻工藝。此外，它還具有可選的高功率射頻（RF）能量源，能夠實現高速率蝕刻。該資產還配備了先進的激光控制精密基板蝕刻。此外，它還包括一個獨特的變頻控制器，使得多個不同的蝕刻頻率可以統一操作。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD為任何晶圓級或設備級工藝提供了出色的蝕刻解決方案。憑借其全面的軟件工具和先進的處理能力,此模型為研究和制造提供了可靠而強大的蝕刻解決方案。其精密蝕刻控制、高速率蝕刻工藝和高質量蝕刻結果使其成為任何行業級別應用的理想選擇。