二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818327 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD是一種為精密沈積用於集成電路制造的薄膜而設計的蝕刻器/asher。它使用原子層沈積（ALD）來創建2-50 nm範圍內保形尺寸的薄膜。這允許創建具有精確尺寸和非常高保形性的結構。TEL TELINDY Plus ALD具有低壓、低溫的工藝室和先進的自動化/控制設備。腔室本身是一個溫度和壓力控制的真空系統，以確保適當的蝕刻和沈積。設置自動化控制單元，以監測和控制ALD工藝的溫度、壓力、氣流、沈積速率等各種參數。為確保對ALD工藝的精確控制，TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD配備了自動氣體輸送機，可以精確控制反應氣體的流動。此外，該工具還具有模具資產，其設計目的是提供最佳的ALD工藝，無論基板的形狀和尺寸如何。該工具設計為同時使用手動和自動化過程。這樣就可以使用包括矽、石英和玻璃在內的多種基板。TELINDY Plus ALD還具有先進的晶圓傳感和跟蹤模型,用於精確的薄膜輪廓控制。該設備與其它工藝參數結合，控制沈積速率和薄膜厚度。晶圓跟蹤系統還允許對光刻膠加工和掩模對準進行精細控制。在安全方面，TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD的設計功能是對人員或設備的傷害風險最小。它具有內置的安全功能,如芯片/晶片處理時間限制和壓力限制,以防壓力意外增加。此外，機組還配備了真空互鎖機，以確保事故發生時的安全。總體而言,TEL TELINDY Plus ALD是一款高級蝕刻器/灰化器,具有許多專門為原子層沈積（ALD）應用程序設計的功能、過程和安全協議。它提供了2-50 nm範圍內保形尺寸的薄膜的精確沈積、自動氣體輸送工具、模具資產、晶圓感測和跟蹤模型以及安全特性。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD是制造集成電路和其他電子元件的絕佳設備。