二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818328 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD（原子層沈積）是一種精密粉碎機，通常用於合成金屬、氧化物、氮化物等材料的薄膜。這種蝕刻器主要用於納米技術和微電子應用，其制造高質量納米厚塗層的能力往往非常有利。TEL TELINDY Plus ALD通過在底物表面上連續氣相化學反應的過程工作，導致對膜厚度和均勻性的控制大大提高。此過程允許創建針對特定應用程序定制的復雜3維結構。典型的系統設置包括兩個源模塊,一個送貨室和一個基板支架.TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD系統中的源模塊包含一個入口、一個反作用室、流量控制閥和溫度/壓力傳感器。每個模塊最多可容納32種化學品，可獨立操作，用於同時進行的多工藝應用。輸送室用於控制反應物氣體，並將其移動到底物上。該腔室配有質量流量控制器、真空計和一系列氣體擋板，有助於確保工藝氣體以正確的壓力和均勻性到達基板。基板架允許精確控制基板的溫度，並且可以在Z平面上移動，使得兩側的樣品塗層成為可能。樣品支架一般由嵌入式加熱器加熱，具有隔熱作用，以最大程度地減少溫度損失。通過控制前體化合物的同時輸送，TELINDY Plus ALD可以用極均勻的單層厚膜覆蓋樣品。當這些前體分子在表面上相互反應，導致產生極薄、高度均勻的塗層時，這個過程就完成了。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD蝕刻器是一種精確可靠的工具，使用戶可以用精確、納米厚的薄膜塗覆多種底物。通過對工藝變量的精確控制和塗層的高均勻性，該蝕刻器提供了精確的結果。該設備最適合需要精確和均勻層的納米加工應用。