二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #9285008 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD是一種專門為薄膜沈積而設計的蝕刻器/asher,用於生產包括半導體器件、幾種光學應用的薄膜和磁性材料在內的多種產品。該設備基於「純氣體」原子層沈積(ALD)技術的改進版本,這是一種高度精確和可重復的沈積工藝。精確控制薄膜厚度的能力是ALD工藝的主要優點之一。TEL TELINDY Plus ALD系統設有真空室、沈積源、廢氣管線、供氣單元、電機、機械工具和安全裝置。真空室是為沈積過程而設計的,可以處理多種材料。沈積源采用高精度微米頭和精確壓力計控制沈積的暴露時間和持續時間。廢氣管線用於操作過程中安全處置產生的氣體。供氣資產為ALD工藝提供了必要的氣體流動,電氣模型為設備提供了一切必要的電力。機械系統由一系列電機和閥門組成,可調節沈積源和廢氣管線等部件的位置和運行。裝置中安裝的安全裝置有助於在機器發生故障或潛在危險時保護人員和設備。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD工具在薄膜沈積方面有幾個優點。資產有助於確保材料的均勻沈積,從而提高準確性和可重復性。此外,通過控制沈積循環,可以沈積厚度非常具體的薄膜。這對於需要精確裝配薄膜的應用可能是有益的。最後,該模型提高了沈積過程的效率,提高了沈積時間,降低了成本。總體而言,TELINDY Plus ALD是一種專門為高精度和可重復沈積薄膜而設計的蝕刻器/asher。它比傳統沈積技術有幾個優點,包括提高精度和可重復性,精確控制沈積循環,提高效率。這使得它成為需要薄膜的應用的理想選擇。
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