二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus anneal #293638716 待售

TEL TELINDY Plus退火（TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher）是一種高精度的蝕刻/灰化裝置，用於消除納米級底物上殘留的光致抗蝕劑。主要用於半導體、MEMS等微電子產業的應用。該單元配備了具有大容量液晶觸摸面板的先進TELINDY Plus控制器。這使用戶能夠精確配置許多進程參數。這種控制器可以方便地設置和校準化學蝕刻時間和濃度，以及控制化學罐內的溫度和壓力，這可以設置為以最佳效率執行。TEL/TOKYO ELECTRON/TE切線蝕刻器/Asher利用先進技術,在降低材料損耗的同時提供卓越的化學蝕刻速率。這樣可以非常精確地蝕刻細小的地溝、線條和觸點等細微的特征。該單元還提供一致的均勻蝕刻結果，具有高度的可重復性。適用於濕蝕刻工藝，如RIE、ECR、ICP蝕刻，以及幹蝕刻工藝，如DRIE、ECR-DRIE、ECR-ICP蝕刻。它還能夠應用退火處理，以幫助改善過程中晶片上生長的材料的附著力。該機組還配備了先進的Pol-Pol洗滌器設備。這通過從罐中回收化學物質並將其重新循環，減少了蝕刻過程中產生的廢物。此外，TEL/TE切線蝕刻器/Asher包括冷卻系統，冷卻化學混合物以提高操作安全性，並有助於防止化學分解。TOKYO ELECTRON/TE切線蝕刻器/Asher有一個單獨的真空單元，這對於消除蒸氣蝕刻等不良過程很有用。它還具有渦流傳感器，能夠檢測蝕刻過程中的基板，準確測量蝕刻深度。此精度有助於確保一致的結果並提高工藝產量。此外，該單元還配備了一個機載報警機，用於警告任何故障。總之，TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus退火（TEL/TE Tangential Etcher/Asher）是一種高性能蝕刻/灰化工具，旨在提供對關鍵工藝參數和優異蝕刻速率的精確控制。憑借其先進的技術，它能夠蝕刻各種各樣的基材和材料，其內置機制有助於減少廢物產生和提高結果質量。