二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M #293752523 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M是一款高度先進的蝕刻器和asher設備，設計用於半導體制造和微電子工業的精密表面改性和加工。該系統采用了最先進的技術,在諸如蝕刻、灰化、清潔和抗剝離等關鍵過程步驟中提供卓越的性能、可靠性和可重復性。TEL TELINDY PLUS-B-M單元的核心是一個精密的真空室，能夠精確控制氣體流動、壓力、溫度和等離子體密度等過程參數。該室配備了最先進的氣體輸送系統、射頻發生器和等離子體源，以創造符合特定工藝要求的各種化學和等離子體條件。TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M機器的一個關鍵特點是其雙模操作能力，允許蝕刻和灰化模式之間的無縫切換，而無需腔室重新配置。這種多功能性使用戶能夠在單個工具中執行多個過程步驟,從而縮短周期時間並提高總體生產率。此外，該資產還支持電感耦合等離子體和下遊等離子體清潔技術，以實現有效的基板清潔和表面制備。TELINDY PLUS-B-M模型通過其高級流程配方管理軟件提供了高度的流程靈活性和定制。用戶可以為特定的應用程序、材料和設備結構輕松編程和優化過程配方,從而確保對蝕刻速率、選擇性、均勻性和輪廓控制的精確控制。該設備還具有實時流程監控功能，使用戶能夠即時調整流程參數，以確保一致和可靠的結果。在硬件設計方面，TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M系統以易維護、可維護性和操作安全性為重點構建。該單元配備了先進的診斷工具、自我校準功能和遠程監控功能，以簡化維護活動並最大限度地減少機器停機時間。而且，該工具堅持嚴格的安全標準，具備多種聯鎖、報警、安全機制等特點，防止事故發生，保護操作員和設備。TEL TELINDY PLUS-B-M資產旨在滿足半導體制造設施、研究實驗室和先進制造環境的嚴格要求。它堅固的結構、先進的工藝功能和用戶友好的界面使其成為廣泛應用的理想解決方案,包括高級陣列設計、設備制造、MEMS制造和薄膜處理。TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M模型具有卓越的性能、可靠性和過程控制能力,是尋求高質量、經濟高效的精密表面處理和修改解決方案的組織的寶貴資產。