二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M #293778314 待售

ID: 293778314
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Vertical furnace, 12" Robot handler system Wafer type: Si Process: HFO / HFSiOX Temperature range: 200°C to 600°C Tube Chamber CIM: SECS FOUP Interface Power supply: 480V, 3 Phase / 208 V, Single phase 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M是一款為高性能半導體制造工藝而設計的先進蝕刻/asher設備。該系統結合了尖端技術,以滿足先進半導體器件的嚴格要求。TEL TELINDY PLUS-B-M提供卓越的工藝一致性、生產率和可靠性,使其成為制造下一代集成電路的理想解決方案。TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M的關鍵特性之一是其先進的過程控制能力。該裝置配有高度精密的控制機器,可確保精確和可重復的蝕刻/灰化過程。此控制級別對於實現嚴格的過程公差和保持一致的設備性能至關重要。該工具還提供實時監控和反饋機制,以優化流程參數並確保最佳性能。TELINDY PLUS-B-M的另一個顯著特點是其高吞吐量能力。該資產專為大批量制造環境而設計,能夠每小時處理大量基材。這種高吞吐量是通過優化的流程配方、高效的晶圓處理機制和先進的自動化功能實現的,這些功能最大程度地減少了停機時間並最大限度地提高了生產效率。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M還提供了整個晶圓表面的卓越工藝均勻性。這對於確保整個晶片的設備性能和產量一致至關重要。該模型采用先進的等離子體控制技術,在晶圓上實現均勻的蝕刻/灰化速率和薄膜厚度,從而實現了高質量的器件制造。除了性能外,TEL TELINDY PLUS-B-M還設計了操作靈活性和易用性。該設備具有方便用戶的界面,使操作員能夠輕松地設置和監控流程參數。該系統還提供了可自定義的流程配方,可針對特定設備需求進行優化,從而為流程開發和優化提供了高度的靈活性。TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M還配備了先進的安全功能,以保證操作員和環境的保護。該股包括全面的安全聯鎖、氣體檢測系統和緊急關閉機制,以防止事故和減輕與危險材料和過程有關的風險。總體而言,TELINDY PLUS-B-M是一臺最先進的蝕刻/asher機器,可為高級半導體制造應用程序提供高性能、可靠性和生產率。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS-B-M具有先進的工藝控制、高吞吐量、卓越的工藝均勻性和操作靈活性,是領先的半導體制造商的理想解決方案,希望獲得最高的設備性能和產量。
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