二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K #9253810 待售

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ID: 9253810
優質的: 2014
Furnace Wafers: 100 Pressure control: APC Valve Process gas: AMPLE System: NxTi TMA: F.S 500 Sccm O3: F.S 20 Slm, 200 g/m3 N2 Octane Vaporizer: STEC (TMA, NXTi) LSC-F530 (TMA) STEC Z500 Series MFC (Mass Flow Controller) Process temperature: 200° to 300° 2014 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K是一種蝕刻器/asher,用於生產和維護電子元件。它專為高K工藝技術而設計,能夠在最先進的集成電路設計中產生和維護最關鍵的特性。TEL TELINDY Plus High-K具有獨特的雙等離子體技術,讓設備提供更均勻的蝕刻圖案。其高功率、高頻等離子發生器提供穩定可靠的蝕刻性能,適用於高K器件結構的生產和維護。此外,蝕刻器還配備了集成控制器,提供改進的工藝穩定性和先進的集成特性,以確保精密蝕刻操作。該系統具有針對流程可擴展性進行優化的設計,能夠支持各種晶圓尺寸。它還提供了廣泛的基材材料,包括鋁、多晶矽、砷化氙、氧化錫、絕緣體上矽和深溝,使得蝕刻機適合所有涉及高K工藝的工作。它還具有簡單、直觀的用戶界面,允許您通過簡單的拖放來配置設備。該機還配備了先進的安全功能,允許操作員在所有關鍵步驟中安全,包括裝載過程,以及可靠的維護和工具升級。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K提供最新的蝕刻技術。其高效可靠的操作使其成為最先進的高K工藝應用的理想選擇,並為底物兼容性和工藝可擴展性提供了全面的多功能性。其直觀的用戶界面和先進的安全功能使其成為滿足您所有生產和維護需求的寶貴資產。
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