二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus IRAD Oxide #293822431 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus IRAD Oxide是一款高級蝕刻器/asher，設計用於提供多種材料的高性能等離子體蝕刻。該設備利用電感耦合等離子體（ICP）源創建了一種高密度等離子體,能夠以高速和低熱預算處理各種底物,包括SiN、聚酰亞胺、TiN、SiO2和SiON。該系統還具有先進的計算機控制功能,包括可編程端點檢測（EPD）算法,以確保跨多種基板類型的一致蝕刻過程參數。TEL TELINDY Plus IRAD氧化物具有微波功率控制單元，可直接調制ICP和RF功率水平，以精確控制等離子體密度和蝕刻持續時間。這確保了精確控制的蝕刻,每小時最大吞吐量可達180種基材,使其成為高效的解決方案。蝕刻室融合了大量渦輪泵和一個整體渦輪泵旁路，允許快速的過程intels循環時間。此外,它還采用集成晶圓冷卻機來最大程度地減少熱損壞並保持蝕刻精度。TOKYO ELECTRON TELINDY PLUS IRAD Oxide能夠蝕刻各種厚度和材料，包括金屬、氮化物、氧化物、塑料和聚合物。高級編程/診斷功能支持對蝕刻過程進行遠程監視和自動優化,從而確保最大限度的生產效率。此外，該工具與包括N2、Ar、O2和SF6在內的多種氣體兼容，允許各種蝕刻能力。蝕刻配方存儲起來便於召回和可重復性，可以與TELINDY控制器軟件鏈接以進一步定制。總體而言,TELINDY Plus IRAD Oxide是一款功能強大的蝕刻器/灰化器,旨在為各種基材提供快速、一致和精確的蝕刻。它的高級功能和自動化編程功能確保了高質量、可重復的蝕刻結果,每小時高達180個晶圓。