二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Nitride #9243663 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Nitride （TEL/TENP）是專門為氮化物膜的蝕刻和去除而設計的高精度蝕刻器/asher。它利用脈沖微波等離子體技術，連同先進的過程控制軟件，提供精確的過程控制和精密蝕刻，以及極快的過程循環時間。TOKYO ELECTRON/TENP具有高精度蝕刻室，可容納各種基材尺寸和形狀。它利用脈沖反應離子蝕刻（RIE）工藝從底物中蝕刻或去除氮化物薄膜。先進的過程控制軟件提供了對蝕刻過程的精確控制，允許廣泛的蝕刻處理條件。先進的過程控制軟件還允許優化處理條件,從而實現更快的蝕刻和灰化速度,並提高了整個過程的可重復性和均勻性。TEL/TOKYO ELECTRON/TENP以低射頻功率蝕刻薄膜，去除厚度高達15-50納米的氮化物薄膜。蝕刻過程在各種溫度下進行，如室溫、低溫以及高溫。此外,TEL/TENP還具有獨特的工藝室壓力和溫度控制功能。這包括一個自動壓力控制系統來補償腔室內的壓降，以及一個溫度控制系統來盡量減少可能的溫度變化。TOKYO ELECTRON/TENP具有先進的功能，例如自動氮控制系統，可以精確控制蝕刻室內的氮濃度。這可用於優化蝕刻和灰化性能。TEL/TOKYO ELECTRON/TENP還具有高級流程控制軟件，可用於監控和控制流程執行過程中的所有設備參數。此外，先進的過程控制軟件還具有自我診斷、配方管理以及過程日誌收集和預測功能。TEL/TENP是一種用途極為廣泛的蝕刻器/asher,非常適合各種應用程序和行業。這包括在半導體晶圓、太陽能電池、MEMS和其他組件上蝕刻和去除氮化物薄膜和其他電介質。TOKYO ELECTRON/TENP作為蝕刻器/asher，非常適合去除蝕刻障礙物，精煉側壁結構，改善介電均勻性，提供精確的蝕刻和粉刷。TEL/TOKYO ELECTRON/TENP也高度可靠，易於操作和維護。這使得它成為各種行業和應用的理想選擇。