二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Oxide #293638902 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Oxide Etcher/asher被設計為以低成本提供集成電路基板的高精度批處理。這種氧化物蝕刻器的設計重點是提供當今最先進的基材和技術所需的高性能和準確性。氧化物蝕刻器配備了先進的控制設備，可重復可靠的處理。所有參數都易於編程和監控,以確保最高質量的輸出。該系統的特點是在加工過程中實時顯示基板溫度，提供基板實際溫度的反饋，可用於調整過程。此外,獲得TEL專利的壓力掃描設計允許進行高級溫度控制,從而無需冷卻設備。氧化物蝕刻器利用先進的集成過程控制,如氧化直流等離子體、蝕刻、灰化和光激/等離子體清潔循環,使其成為高產量基材加工的理想選擇。除此以外，該單元在一個站內進行蝕刻、清潔和幹燥，不需要手動處理基板。氧化物蝕刻器的先進氣體機控制流量，並保證高質量的處理與各種不同的基材。氧化物蝕刻器堅固的構造保證了它能夠承受工業加工的惡劣環境，同時提高了工藝安全系數，以確保盡可能高的底物純度。用戶友好的GUI界面使該工具易於編程和監視,同時允許快速高效地執行流程更改。氧化物蝕刻器是一種緊湊的設計,適合任何潔凈的房間或實驗室環境,先進的安全功能使其成為生產環境中使用的理想資產。這種氧化物蝕刻器可提供高產率、提高精度和高通量,使其成為大批量制造的理想選擇。