二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #293640860 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是一種用於制造半導體及相關器件的蝕刻器/asher設備。該系統用於金屬層、氧化物層和其他材料的幹蝕刻。它是用於半導體加工的最先進的幹蝕刻器/灰化器，提供了廣泛的技術，如等離子體蝕刻、化學蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）、感應耦合等離子體（ICP）蝕刻，以及可與濕化學蝕刻結合使用的金屬蝕刻。TEL TELINDY Plus單元是一款具有完全自動化功能的定制機器，可以輕松適應特殊的流程要求。它使用模塊化工具體系結構來最大化其功能的潛力。該資產旨在確保低停機時間並提供流程一致性。其用戶友好的控制模型具有遠程監視和控制功能,允許用戶從本地或遠程位置監視進程。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus設備能夠處理各種材料，如金屬、氧化物、聚合物、氮化物和電介質。該系統適用於工藝開發和大批量生產，具有閉環工藝，可以測量工藝運行過程中的蝕刻速率並相應調整工藝參數。該單元還具有可調基板溫度控制器，用於控制蝕刻工藝溫度。該機配備了多種工藝特種部件，以滿足各種蝕刻要求。它包括高壓和低溫蝕刻工具、深層反應性離子蝕刻資產、深層通過模型、濺射設備、離子植入設備和基板前後計量系統等功能。所有這些系統都旨在確保最高的流程可重復性,並提供輕松的設置、操作和維護。除蝕刻工藝外，TELINDY Plus單元還提供其他幾項服務，如升華、濺射、前後計量、離子植入物、濕化學蝕刻和無損熱處理。它是一種高度通用的機器，可用於各種半導體應用和工藝。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus工具是一種可靠的、高收益的幹式蝕刻器/asher資產，為滿足最苛刻的環境和工藝要求而建造。它的模塊化模型體系結構為用戶提供了廣泛的半導體處理功能,並使他們能夠根據自己的特定需求定制設備。