二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #293778315 待售
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ID: 293778315
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Vertical furnace, 12"
Wafer type: Si
Process: ALD-SiO2
Temperature range: 500°C to 800°C
Tube
Chamber
Power supply: 480V, 3 Phase / 208 V, Single phase
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是一種蝕刻器/asher,設計用於幫助微加工過程。它由TEL制造,是一種高度精確高效的工具。TEL TELINDY Plus采用高精度蝕刻和灰化設備設計。該系統包括精確的晶圓對準和基板運動控制,以及集成的基板溫度控制。這確保了蝕刻過程的精確度和準確性。該機器具有能夠處理各種不同晶圓尺寸的腔室容量。它配備了一個特殊的自動控制功能,這使得自動化基板處理和確保高效蝕刻。它還有一個粒子過濾單元,有助於確保細小的粒子從腔室和晶圓表面被去除。此外,TOKYO ELECTRON TELINDY Plus還有一個集成的預處理機,這有助於在通過蝕刻或灰化工藝處理晶片之前對晶片進行清潔。它還有一個過氧化氫輸送工具,在室內輸送和沖洗過氧化氫溶液。這有助於確保該過程既安全又有效。TELINDY Plus還具有其他幾個有助於蝕刻和灰化過程的功能,如高精度計時器和自動遙控驅動器資產。它有各種各樣的蝕刻配方可以編程到機器中,它的軟件有內置的安全檢查,以確保每個過程只使用正確的氣壓量和電流。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是一款高品質、可靠的蝕刻器/asher。它為加工晶片提供了一個高效、精確的模型,具有極大的安全特性,並有多種設置和特性來幫助處理過程。它是微加工工藝的寶貴工具,有助於生產高質量和可靠的終端產品。
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