二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251690 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是TEL製造的一種蝕刻/asher設備，被半導體工業用來製作晶圓加工、MEMS製造、薄膜封裝等多種微電子器件的陣列。它旨在實現基材的精密蝕刻和灰化以產生所需的形狀。該系統由控制器、蝕刻工藝室和真空單元組成。TEL TELINDY Plus機上的控制器提供了設置蝕刻過程和啟動程序所需的用戶界面。該控制器具有先進的軟件算法，能夠自動調整蝕刻參數，給用戶更大的控制和靈活性的過程。蝕刻加工室是一種全玻璃室，用於在蝕刻和灰化過程中容納基材。腔室設有專門的氣體輸送系統、蝕刻電極以及壓力和溫度傳感器。它旨在提供高度定義的蝕刻環境,並確保均勻一致的蝕刻結果。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus資產的真空工具由離子吸收泵和旋轉式葉片泵組成，為基材加工提供必要的真空水平。該模型還具有渦輪泵，支持維持真空水平和輔助傳熱從蝕刻過程。TELINDY Plus設備采用光學透明電極設計，用於創建用於晶圓精密蝕刻和灰化的電場。電極還保證了均勻和可重復的蝕刻輪廓。該系統與多種氣體兼容，可用於實施從濕蝕刻到幹蝕刻的各種工藝。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus單元是一款可靠高效的蝕刻機/asher機，非常適合半導體行業的技術人員。該工具提供了高級自動化、精確蝕刻分析和各種工藝選項,使其成為晶圓處理的理想選擇。