二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251691 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus
ID: 9251691
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Vertical LPCVD furnaces, 12" 2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是一種用於半導體生產過程的多功能蝕刻器或asher。它是一種高性能設備,用於在半導體晶片上蝕刻圖樣,能夠蝕刻一些最復雜的特征。蝕刻器配備獨立精密多區溫度控制,最高溫度為800 °C。通過氣體面板和感應線圈的組合來實現溫度控制。此外,加號具有獨特的浮動磁化器設計,用於確保晶圓表面的均勻蝕刻。敏感器是一種低溫敏感器,不會對材料造成任何損壞。該設備可靠、精密,實現了淺層接頭成形、抗蝕帶、除害和晶片清洗等工藝。它還提供嚴格的過程控制,因為該系統配備了可編程的端點監控單元。這臺機器保證在確定的端點精確蝕刻。此外,它還具有一個名為EPM(蝕刻/處理器模塊)的高級安全工具,可提供蝕刻過程的安全控制。蝕刻器也是用戶友好,啟用快速的過程設置和簡單的操作與觸摸屏顯示。這可能是因為內置的流程配方易於定制和優化。TEL TELINDY Plus是用於半導體生產的先進蝕刻器/asher資產。其獨特的溫度控制、敏感器設計、過程控制和安全特性使蝕刻工藝更加精確可靠。此外,方便用戶的界面向技術人員提供所需的信息,以確保有效的流程操作。
還沒有評論