二手 TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9313289 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus是由TEL製造的先進化學蝕刻器/asher，設計用於半導體晶圓處理。TEL TELINDY Plus是一種使用非接觸式維護的化學蒸氣蝕刻器/asher，它涉及到交換組件作為一個單元，而不必停止蝕刻過程。它還采用模塊化設計，使各種各樣的工藝配方得以使用。TOKYO ELECTRON TELINDY Plus由主體、工藝室、真空泵、晶圓級組成。主體是晶片級、真空泵、工藝控制面板的所在地。晶片級是放置晶片以便蝕刻或清洗的平臺。真空泵用於降低工藝室的壓力，以創造一個真空環境進行蝕刻，以便一次同時蝕刻多個晶片。過程控制面板用於控制和監視從開始到結束的過程,以及修改參數以優化蝕刻性能。TELINDY Plus使用化學氣相沈積（CVD）在晶圓頂部沈積一層薄薄的介電層。此層用作掩碼,用於確定哪些圖樣或形狀將從晶圓中蝕刻出來。蝕刻過程包括將晶片暴露在真空室中的化學蝕刻物中，這會侵蝕所需區域內的材料。一旦這個過程完成，一系列高純度氣體被輸送到腔室，以洗去蝕刻劑並清洗晶片。TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus為用戶提供了一個嚴格控制的環境，以實現最大的重復性和過程控制。具有精確調節溫度、壓力、轉速、氣體混合物的能力。這允許用戶優化工藝，達到最大蝕刻效果。它還為精確的氣體輸送和均勻性提供了較高的氣流精度。TEL TELINDY Plus配備了壓力傳感器、泄漏傳感器、具有報警功能的溫度傳感器、超壓關機等安全功能。直觀的用戶界面允許用戶從頭到尾輕松監控和控制蝕刻過程。此外,TOKYO ELECTRON TELINDY Plus還提供各種定制選項。總體而言，TELINDY Plus是一款先進的化學蝕刻器/asher。它具有精確蝕刻和均勻輸送氣體的能力，以及先進的安全特性和定制的多功能性。是半導體晶圓制造的理想解決方案。