二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM #9294211 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 DRM是一款為高品質、高性能蝕刻解決方案而設計的自動化幹蝕刻設備。蝕刻器基於先進且經過驗證的Telius 305平臺，在各種應用中使用了多年。該系統利用專有電子束加熱和氫等離子體源技術，統一蝕刻玻璃、石英、矽、氧化鋁等各種材料的基材。該單元特別適合於以高精度和均勻性對半導體器件進行蝕刻和制圖。具有三軸級和200毫米至300毫米的大晶圓直徑，蝕刻器可以容納種類繁多的基板。此外，Telius 305平臺還可針對氧化物蝕刻、濺射、等離子體蝕刻和深層抗蝕刻等各種工藝進行定制。該機采用延遲反射方式和光束消隱脈沖，保證光束強度均勻，從而保證晶圓蝕刻均勻。它具有最先進的可變傾斜蝕刻和可變抖動，以及可變靜電夾緊。此外,該工具還配備了高級溫度控制功能,以確保精確的蝕刻速率。TEL Telius 305 DRM具有過程控制和數據采集功能,可確保參數的可重復性和準確性。該資產可以存儲流程配方,並允許用戶存儲不同蝕刻應用程序的多個配方,從而簡化流程優化。該模型還利用了一個無快門光束快門，以實現更好的能見度的過程。設備高度緊湊,安裝空間最小。其穩健的設計加上高速數字控制系統和高性能數字伺服電機，使其可靠高效。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 DRM也被設計為易於維護和高正常運行時間。它還提供高速和高吞吐量能力。總體而言，Telius 305 DRM是一款先進、可靠、高效的蝕刻裝置，適用於各種基材的高精度、均勻蝕刻。蝕刻器強大的設計、先進的溫度控制能力以及過程控制和數據采集能力使其適合廣泛的應用。