二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #293652091 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是一款用於集成電路制造的先進蝕刻asher。它是一個SCCM（基板電荷控制模塊）機器,可以精確控制基板電荷.該機用於加工直徑達300 mm的基板，每個半導體器件的低零件成本使其成為先進蝕刻粉碎機應用的理想解決方案。TEL Telius 305 SCCM的核心特性包括其靜電電荷控制，在每個位置都有獨立可調的偏差，自動化晶圓處理設備，以及處理直徑達300 mm的基板的能力。這臺機器配備了兩個等離子體源，一個鎖載室，以及一個廣泛的計算機控制系統。負載鎖室可以方便地交換晶圓，而不需要大量的停機時間，而等離子體源可以對基板進行精確的蝕刻。此外，雙等離子體源的設計保證了基板的均勻蝕刻。計算機控制單元允許精確的過程監測和調整蝕刻參數。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM專為高性能應用而設計，是蝕刻asher行業中的佼佼者。它擁有5分鐘的高速蝕刻時間，吞吐量高達每小時450個基板。這臺機器能夠加工厚達125 μ米的基板，在晶片平面度和圓度測量上都是準確的，能夠進行脈沖蝕刻和離子束傳遞蝕刻。蝕刻方法的選項是根據正在處理的晶圓類型定制的。Telius 305 SCCM包含緊急停止按鈕、兩級安全聯鎖、安全開關等多項安全功能。此外，它還有一個先進的警告機器，其設計用於檢測基板加工過程中的任何違規或損壞，並提醒操作員。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是一款高效可靠的蝕刻機,為集成電路制造提供卓越的性能。它對所有制造工藝都具有成本效益，其先進的技術確保了大多數基材的精密蝕刻。