二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #293822433 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是為大批量生產工藝而設計的全自動蝕刻器（或asher）。它是一個單一的晶圓生產設備，每次運行最多可處理12個晶圓，允許高效靈活的生產。它是一種幹式蝕刻系統，采用隔絕等離子源技術，以高精度、高精度沈積和蝕刻材料。TEL Telius 305 SCCM建立在堅固的兩軸級工作臺上,能夠承載12英寸大小的晶片。其自成一體的集成輸送機單元還確保了晶片的可靠運輸，並提供了廣泛的調整速度設置。采用高精度Z軸壓電執行器在蝕刻過程中提供理想一致的晶圓定位。該機配備了先進的閉環工藝控制技術，允許對加工參數進行自動化、精確的控制，以保證每次蝕刻結果最準確。機器有能力儲存多達10種可重復的工藝序列配方，並能夠蝕刻包括矽、鋁、銅等多種金屬和合金在內的不同材料。該蝕刻器配備了一個全自動清潔和安全模塊，包括一個用於轉移過程中惰性氣體保護的雙氣體輸送工具，以及一個氮氣凈化資產，以確保每次都能獲得清潔和無顆粒的蝕刻結果。它是一種高度通用的蝕刻模型，適用於各種生產線和應用。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是一種高效可靠的蝕刻解決方案,旨在滿足基本的生產需求和要求,為各種工藝和材料提供靈活和過程控制技術的完美結合。它是一種經濟且用途廣泛的機器，非常適合大批量蝕刻和其他生產應用。