二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #9252316 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是一款常用於半導體和MEMS行業的高分辨率蝕刻器。它被設計用來蝕刻或粉刷各種底物，包括矽、金屬和聚合物。它具有出色的蝕刻速率均勻性和高達300毫米（12英寸）的蝕刻深度均勻性。蝕刻機設有可調節的流量控制特性，使其能夠在較短的時間內調整蝕刻速率，以進行更大的物料去除。它配有內置的多電極組件，用於蝕刻和反應性離子蝕刻（RIE）。該蝕刻器可處理直徑達8英寸（200毫米）、深度可達150微米的晶片，額定工作溫度可達175 °C。它還具有可調節的氣體輸送和壓力控制功能，允許包括氧氣、CF4、SF6和空氣在內的多種環境大氣。此外,TEL Telius 305 SCCM還配備了數字控制系統,用戶可以從五個工藝參數（蝕刻速率、腔室壓力、目標蝕刻速率、基板溫度和氣流）中選擇一個,並手動調整每一個參數以達到所需的值。TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM還附帶一個可選的負載鎖，以提高吞吐量和穩定性。這對於需要提高蝕刻環境穩定性的半導體和MEMS工藝特別有用。負載鎖定系統可以安全地保護晶片免受壓力、溫度和大氣條件突然變化的影響。此外，Telius 305 SCCM還融合了自動過程監控功能，如實時過程真空傳感器、RF等離子體清洗系統和蝕刻後處理站。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS 305 SCCM是一款蝕刻器/asher，旨在滿足廣泛行業和應用的要求。TEL Telius 305 SCCM具有可調節的流量控制和氣體輸送、實時過程監控以及可選的負載鎖定功能,為用戶提供了可靠高效的多種材料基板蝕刻手段。其多功能性、準確性和用戶友好的設計使其成為任何蝕刻或灰化需求的可靠選擇。