二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius DRM #293627317 待售

TEL Telius TM DRM是TOKYO ELECTRON與佳能光刻專家合作開發的蝕刻/灰化設備。蝕刻/灰化系統使用直接反轉掩碼將電路設計的地形蝕刻/灰分到半導體晶圓上。利用先進的晶片處理，TEL/TOKYO ELECTRON TeliusTM 蝕刻器/asher可以以模仿所需電路設計的線條和圖樣去除或添加材料到晶片表面。該單元的工作原理是,首先從所需的電路設計中創建一個如畫的掩模,然後使用激光器引導機器在晶片表面蝕刻/灰線和圖案。TEL TeliusTM 蝕刻器/asher精度很高，分辨率為十分之一微米（1/10微米）。它利用機載數字控制來精確地執行每個蝕刻/灰化操作,使批量較小的大規模生產和停機時間最短的高質量產品成為可能。Telius TM工具還包括高級、可自定義的電源和排水參數,允許用戶根據自己的特定需求自定義蝕刻/灰化過程,從而提高速度和吞吐量。該資產采用了多項獲得專利的節能和節省時間的技術,例如OptiCool TM模型,它可以快速響應不斷變化的溫度和流體壓力。TOKYO ELECTRON TELIUS TM 蝕刻器/asher提供了額外的功能,例如內置自動定位設備、自動底板檢測和完全可編程的階段,提供了大規模生產的靈活性和高產率。所有這些功能使TEL/TOKYO ELECTRON Telius TM 蝕刻器/asher成為快速、精確、經濟高效的蝕刻/灰化操作的理想選擇。