二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #293593000 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin
ID: 293593000
晶圓大小: 12"
Dry etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM Shin是一種蝕刻器/asher,可用於半導體和平板器件的生產。它的工作原理是使用壓力和溫度的替代方法,從工件表面移除材料層。Telius SCCM使用電極去除材料作為電化學反應。反應發生在兩個電極(工件和安裝的電極)之間,這兩個電極產生陽極離子和陰極離子,將非導電材料護送到基板表面。然後將其從基板中移除。這種蝕刻被稱為「幹蝕刻」,因為這一過程是在不使用蝕刻化學品或溶劑的情況下完成的。Telius SCCM是一款全自動設備,具有高度的工藝準確性和可重復性。它提供了對蝕刻面積、深度和表面粗糙度的精確控制,以確保最高質量的蝕刻結果。聯鎖系統提供安全保證,可以編程以防止對產品造成損壞。該股能夠處理各種材料(包括塑料、陶瓷和半導體)。也可用於雙大馬士革、環形蝕刻、淺溝蝕刻(STI)等半導體應用。該機具有較高的蝕刻精度,且蝕刻面積均勻性很小,表面變化很小。蝕刻結果沒有殘留物或汙染,有可能產生高產率。Telius SCCM是半導體和平板顯示器設備生產的理想選擇,需要高度的工藝精度和可重復性。該工具能夠產生表面變化低、蝕刻殘留物或汙染最小的高精度蝕刻。這使得它成為需要卓越產量和質量的工藝的絕佳選擇。Telius SCCM的高端功能使其非常適合最苛刻的任務。
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