二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #9190591 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM Shin(一種蝕刻器/asher)是一種高度先進的蝕刻機,設計用於高精度、高通量、高效生產半導體晶片。它專為MEMS設備、CMOS、ASIC等需要復雜蝕刻過程的應用而設計。該機具有步進電機和合金主軸定位技術,除了用於監測物料流動的嵌入式圖像識別設備外,還具有高度精確和可重復的結果。它還配備了4軸高速精密伺服系統和自動晶圓處理,用於快速高效的制造。該裝置提供了對蝕刻氣體、圖樣和溫度的精確控制,允許高可靠性的過程控制。它還具有一個內置的快速氣體切換機,以盡量減少廢氣,以及一個實時的溫度控制工具,防止不希望的溫度變化。該資產設計用於制造矽、石英、鉻、鎢等多種材料。它還能夠處理寬達8英寸的晶片,批量可達100塊。憑借直觀的觸摸屏界面和強大的軟件功能,TEL Telius SCCM Shin是半導體器件原型制作和批量生產的理想選擇。
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