二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM Shin #9353062 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM Shin是一種用於加工半導體底物的蝕刻器/asher。它是來自TEL的Telius系列高精度蝕刻系統的一部分。SCCM Shin利用深反應離子蝕刻（DRIE）技術，以高速、精確、重復性的方式蝕刻晶片上的圖樣。設備配備了完全集成的工藝控制系統，允許各種精確的蝕刻配方。SCCM Shin裝有一個能夠處理8英寸或12英寸矽晶片的腔室，以及砷化氙和磷化銨晶片。它配備了一個或兩個常規ICP（感應耦合等離子體）源，以及一個獨特的第二個源選項RF偏置，以便更好地進行蝕刻控制和準確性。該單元還設有快速晶圓旋轉機以提高其蝕刻速度，以及環境離心機源以使DRIE工藝更加高效。SCCM Shin具有高度的靈活性和可定制性。它可以與多種其他設備集成，如負載鎖、排氣和遠程等離子體源，以進一步精簡其處理能力。該工具還能夠進行精確的自動樣品跟蹤和晶圓處理。在其工藝室內，SCCM Shin利用三種氣源的獨特組合，產生各種蝕刻配方，包括各向同性和各向異性蝕刻工藝。利用這種能力，它能夠以無與倫比的質量和精確度將圖樣精確蝕刻到晶片上。SCCM Shin旨在最大限度地提高效率和減少浪費。它結合了專用的排氣資產，以減少氣體消耗和增加吞吐量。此外，其過程控制模型與智能監控系統和反饋系統相結合，保證了最佳性能和可重復性。總體而言,TEL TELIUS SCCM Shin是一款功能強大且可靠的蝕刻器/Asher,它為晶片提供精確的蝕刻,具有出色的特性和功能,使其成為半導體加工的理想選擇。