二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #293645275 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM是一款多平臺蝕刻器/asher，旨在為廣泛的蝕刻工藝提供卓越的吞吐量性能。這些工藝包括但不限於半導體器件制造、薄膜沈積（TFD）、介電蝕刻和MEMS蝕刻。TEL Telius SCCM采用獨特的專利設計,利用基於SCSI卡的主控制器和腔室定位設備,實現了完全均勻的腔室分布。這確保了腔室溫度和氣體流量可以保持在一個調節的方式，允許高精度蝕刻。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM具有廣泛的功能，使其成為常規和復雜蝕刻任務的絕佳選擇。它提供了高度的靈活性，當涉及到基板處理，與精密導軌，允許多個不同尺寸的基板一次加載到系統中。多區熱區技術和先進的焦微米加熱元件保證了不同基板上一致、可重復的蝕刻效果。對Telius SCCM的腔室設計進行了進一步的優化，以達到最大吞吐量和回收時間。它具有遠程訪問功能,可用於遠程診斷和維護任務,即使在無法物理訪問腔室的情況下也能進行優化。此外,它還配備了SIAS,即Sirius解釋器算法單元,使機器能夠檢測並快速調節可能的過度蝕刻或不足蝕刻問題,從而確保可靠的過程控制。結合這些功能,TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM的用戶可以享受世界一流的蝕刻性能和卓越的精確度,從而能夠快速實現產品產量和輸出可靠性。這就是為什麼TEL Telius SCCM是許多半導體器件制造領域的首選器件。