二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #293830627 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM是一款已經設計以滿足半導體生產的嚴格要求的蝕刻器/asher。它具有多種高級功能和規格,是研究和生產應用中最可靠的蝕刻工具之一。TEL Telius SCCM 蝕刻器/asher設計用於化學機械拋光（CMP）和化學機械平面化（CMP）。該蝕刻機由三個基本部件組成：腔室，包括工藝艙、真空設備和控制器系統；工藝甲板，包括射頻發生器、配電總成和工藝頭；和工藝吊艙，其中包含晶片支架、加工頭和基板升降機。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM的腔室還配備了多項先進功能，包括精密溫度控制、真空感應、遠程操作等。可變溫度範圍允許重復和可靠的過程優化。腔室還配有高分辨率傳感器，可實時監控過程，並進行任何必要的調整。Telius SCCM的工藝甲板由三相高壓射頻發電機供電，並配有配電總成，為整個晶圓提供統一的工藝。工藝頭是一個多站單元，能夠同時處理多達6個晶片。它具有精確定位單元和精確吹氣機，以確保一致和均勻的結果。基板升降機設計方便晶片裝卸。該蝕刻器/asher中的工藝室還配備了自動晶圓傳輸工具，該工具旨在降低汙染風險，提高工藝吞吐量。除了允許晶片在不同的過程之間傳播之外，轉移資產還可以用來從腔室裝卸物料。腔室還配備了自清潔功能，有助於確保腔室不受汙染。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM 蝕刻器/asher還提供了許多高級工藝監控功能。它包括一個嵌入式目標圖像分析特征，可用於檢測異常過程條件。序列編輯器使用戶能夠定義特殊參數和過程序列,從而可以更好地控制蝕刻和平面化過程。總體而言，TEL Telius SCCM 蝕刻器/asher是半導體生產和研究應用的絕佳選擇。它提供了多種功能和規格,旨在滿足最苛刻的蝕刻要求,並提供一致的結果和可靠的性能。