二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9230233 待售
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ID: 9230233
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
System, 12"
(3) Chambers
Missing parts
Spare parts:
HPK1021-TE2
(3) AGA-50D
(3) DGP-120A2
(3) PS3 RF Pump boxes
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM 蝕刻器/asher是為半導體相關過程而設計的單一晶圓級解決方案-如內存單元形成、SOT內存單元對準和一般半導體過程應用。該設備提供高效可靠的蝕刻工藝,具有較小的腳印,可滿足小規模和大規模生產要求。它具有高級蝕刻工具、過程監控系統以及高級過程配方組合,可實現高速吞吐量和高清結果。該器件設計用於晶片調平,以方便地對準晶片邊緣,並提供卓越的可重復性。其創新的計量監測儀測量各晶片上的蝕刻過程,驗證蝕刻操作的準確性並協助過程控制。此外,還提供了實時避免錯誤功能,以實現過程優化,從而獲得最高的生產效率和產量。集成在TEL Telius SCCM中的創新過程自動化工具簡化了配方下載過程,並使操作員能夠快速輕松地配置蝕刻操作,從而提高生產率和產量。高級過程控制和監控功能使用戶能夠根據特定蝕刻要求調整技術參數。此外,TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM還提供了直觀的圖形用戶界面,便於操作.該系統還集成了基於盒式磁帶的高性能負載模塊,提供了可靠、高通量的環境。其緊湊、經濟高效的設計使蝕刻操作能夠集成到各種晶圓生產線中。此蝕刻系統使半導體產品制造商能夠經濟高效地提高吞吐量並減少停機時間。Telius SCCM先進的安全系統監控環境,消除安全隱患。此外,它還為操作員提供數據記錄和歸檔功能,以增強流程跟蹤,並幫助他們遵守法規。它的監測系統還設計成與管理信息系統相結合,以便進行完整的跟蹤和質量保證。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM 蝕刻器/asher是一種高效可靠的半導體相關工藝設備,可為用戶提供更高的生產效率和在當今對成本敏感的市場中的競爭優勢。
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