二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9249074 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM是一種先進的蝕刻/灰蝕刻解決方案,旨在為業界提供前所未有的集成電路結構蝕刻工藝控制水平。設備采用強大的3軸運動系統供電，並配有最先進的晶片和平板顯示器。該單元有一個車載監控模塊，能夠精確監控和控制每個蝕刻/灰燼蝕刻過程的速度、壓力和氣流。使用直觀、用戶友好的界面,TEL Telius SCCM允許精確的流程設置和控制,包括調整每次蝕刻運行的配方參數的能力。該機器還能夠自動校準自身以確保最佳工藝性能,並提供配方和蝕刻參數集以簡化用戶的蝕刻工藝任務。而且，該工具最多可以存儲99種食譜，允許同時運行相同結構的多種食譜。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM采用嵌入式高壓安全資產和專用惰性氣瓶設計，確保最佳工藝安全。該模型還具有專用的獨立PCB,用於電源管理,可確保控制每個蝕刻/灰燼過程的高精度。此外，該設備還具有耐用和耐用的蝕刻/灰燼室，該室還設計用於最大限度地提高工藝氣體利用率，從而在長時間的工藝操作過程中降低成本。該系統有一個完全集成的數字視覺單元，非常適合持續控制大的過程區域，從而為用戶提供了一個很好的視野。它還提供了一個可選的基於PC的控制器,它允許通過本地網絡對晶圓定位和蝕刻數據收集進行額外的實時控制。總體而言,Telius SCCM是一種領先的蝕刻/灰分蝕刻解決方案,旨在將工業蝕刻工藝提升到更高的精度和控制水平。SCCM具有強大的3軸運動機器、直觀的用戶友好界面和可選的基於PC的控制器,是各地集成電路制造商都非常適合的蝕刻器/灰化器。