二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SCCM #9281489 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM是一款為半導體器件處理而設計的蝕刻/asher設備。它結合了一個等離子體源、一個多級真空過程室以及一個內置多步過程監控器的過程控制系統。該裝置為各種材料和工藝生產高質量的蝕刻或粉刷工藝，提供卓越的生產率和產量。TEL Telius SCCM 蝕刻器/asher設計為在亞微米至納米米範圍內運行，具有出色的均勻性、重復性和準確性。為了高效地進行蝕刻和灰燼處理，機器采用了等離子體控制系統、高精度傳感器和高速掃描系統等多種技術。等離子體源控制允許用戶精確設置和維護最佳蝕刻或灰度圓柱體輪廓。高精度傳感器用於實時監控工藝條件，並提供反饋以提高加工精度和精度。高速掃描系統通過快速測量蝕刻或灰度寬度/深度來實現高分辨率過程控制。該工具提供了一個用戶友好的軟件界面，允許用戶訪問所有必要的控制功能。直觀的用戶界面通過提供對所有必要參數的直接訪問,可以輕松創建蝕刻或asher配方。用戶可以輕松地從一組預先編程的配方中選擇配方，也可以輕松地為所需的應用程序創建自定義配方。資產的多級真空處理室提供了一個密封的環境，允許一個一致的，可重復的過程，而不需要頻繁的維護或清潔。自動晶片傳輸模型確保晶片的準確加載和卸載，以實現高效的過程重復性。TOKYO ELECTRON TELIUS SCCM是一款高性能的蝕刻器/asher，具有出色的接口能力和過程控制能力。該設備旨在以較低的擁有成本提供卓越的性能,同時提供可靠的可靠性和可重復性。