二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #293609250 待售

TEL Telius SP 305 DRC是一款蝕刻器/asher設備，專為濕蝕刻、幹蝕刻、灰化和跟蹤工藝等多種半導體工藝而設計。是半導體器件和電路制造、微電子裝配、晶圓級封裝和器件改裝的理想系統。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 蝕刻器/asher單元采用高密度等離子體技術，能夠產生高重復性和均勻性的工藝結果。這臺機器效率很高,因為它可以快速輕松地執行過程,並且可以容納大量的生產。它利用多級真空泵工具保證了良好的程序控制，同時也提供了可靠的大氣壓力源。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 蝕刻器/asher配備了多種蝕刻和灰化源，如感應耦合等離子體（ICP）、外場反應質譜儀（EFRS）、微波誘導等離子體（MIP）、電回旋共振（EC）源。該資產針對低容積工藝室進行了優化，為高產生產提供了非常嚴格的工藝公差。它還具有用於低容量、高精度作業的大型分析室。TEL Telius SP 305具有可編程控制器,可存儲多達99種工藝配方。自動裝載臂確保所有過程參數，如氣流、壓力、射頻頻率、處理時間，都能得到精確準確的控制。此高級控制器允許用戶輕松訪問各種流程程序。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305也附有多種配件，例如變頻驅動和mag場測量模型。變頻驅動器允許用戶根據特定要求改變工藝配方，而mag場測量設備則允許用戶優化工藝，產生高產優質產品。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305提供了一個出色的蝕刻器/asher系統,具有獨特的特性和功能,使其能夠適應一系列高分辨率工藝。這種靈活且易於使用的蝕刻器/asher單元提供了準確、可重復的過程控制,並在操作員幹預最少的情況下提高了產量。