二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #293659302 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 DRM Etcher/Asher是為各種半導體晶圓基板而設計的高性能蝕刻和灰化工具，包括矽、SiGe、砷化氙和藍寶石。該設備支持濕法和幹法蝕刻/灰化加工，采用先進的先進蝕刻器和灰燼技術，可實現高端薄膜沈積的精確蝕刻/灰化。Telius SP 305提供高精度的蝕刻/灰度、線性和均勻性,從而實現一致的工藝性能。Telius SP 305提供了先進的「智能」蝕刻/灰化工藝控制系統,可實現業界最準確、一致且最具時間效益的蝕刻/灰化。Telius SP 305允許額外的功能,如亞微米表面處理、高速對焦平面掃描、通過掩碼蝕刻/灰化以及數字成像功能。Telius SP 305還包括具有互鎖、侵蝕監控和逆流保護功能的綜合安全單元。該機符合SEMI和ESD半導體安全標準，確保刀具安全可靠。這有助於最大限度地減少停機時間並最大限度地提高生產效率,因為它允許從任何錯誤蝕刻/灰燼、半永久性影響和過程泄漏中快速恢復。該資產具有直觀的圖形界面,可輕松訪問程序功能和自動模型信息。I/O性能兼容性基於標準PC硬件和軟件。「Smart Etching/Ashing」技術允許在設備上創建和保存自定義的蝕刻/Ashing程序,以進行長期數據記錄和配方管理。嵌入式配方可在盡可能短的時間內實現最佳蝕刻/灰化。此外,Telius SP 305與行業標準的機箱兼容,並實現實時蝕刻/灰化數據捕獲,提供流程可追蹤性和數據分析。Telius SP 305 蝕刻器/asher非常適合用於各種微電子器件的超細結構制造的研發。總體而言,TEL Telius SP 305 DRM Etcher/Asher是一款精密的蝕刻/灰化設備,可為各種半導體材料提供一流的性能。它配備了先進的蝕刻/灰度控制設備和安全功能,有助於最大限度地提高效率並最大程度地減少停機時間。Telius SP 305 蝕刻器/asher具有直觀的圖形用戶界面和與行業標準腔室的兼容性,是任何微電子設備制造的先進蝕刻/灰化解決方案。