二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 DRM #9397049 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 DRM是專門針對光刻工藝要求的精確度而設計的高性能蝕刻/灰燼。它是一種高級蝕刻/灰化器,具有精密制作的腔室,在蝕刻/灰化器過程中具有更高的精度。該機利用三個獨立的射頻電源，結合高效的氣體淋浴積液系統，為不同的蝕刻和濺射要求提供最大的靈活性。TEL Telius SP 305 DRM的腔室尺寸為1.3m寬x 1.4m長x 0.37m深，運行能力50升。腔內壓力為0至400 torr，可以1 Torr增量調節。工藝溫度範圍為-100至700攝氏度，可重復性為+/-0.1攝氏度，本機均勻性極佳，允許低至6微米特征尺寸的高精度蝕刻。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 DRM還具有開爾文探針溫度和DC偏置選擇選項，以提高工藝控制。為了實現所需的過程，蝕刻/粉碎器的腔室必須適當準備。這一過程開始於使用先進的磨損清洗系統清潔室內墻壁，該系統將清除以前使用過的材料的任何堆積。然後將腔室抽出並用適當的工藝氣體回填。然後將該腔室密封關閉，以便在加熱到所需溫度之前達到超高真空（UHV）水平。腔室溫度由集成到腔室壁的先進熱電偶不斷監測和調節。Telius SP 305 DRM能夠執行幹濕蝕刻過程以及濺射應用。不同程度的氣體壓力和流速，以及射頻電源的各種組合，使得這種蝕刻器能夠以更高的產量和更好的循環時間實現精密蝕刻。還可以使用各種分析技術來監測蝕刻和濺射過程的進展。總之，TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 DRM是一款先進的蝕刻/asher，具有很高的精度和重復性。其特點可用於多種工藝目的，其精確的腔室和溫度控制可提高產量，縮短周期時間。