二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM TE #9282473 待售
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ID: 9282473
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Dielectric etcher, 12"
Process: Contact etcher
CIM
SMIF System: (4) Shinkos
Handler system:
Shinko
Orient
Process chamber 1:
Pendulum valve
Turbo pump
Shutter assembly
RF Generator
ESC Assembly
Process kit
Gauge
Process chamber 2:
Pendulum valve
Turbo pump
Shutter assembly
RF Generator
ESC Assembly
Process kit
LLM CM VAC Valve
ARM Drive
ARM Fork
Gauge
Power rack
Gas panel for PM1/PM2: H2, CH2F2, CH3F, CF4, O2, C4F6, C4F8, CHF, CO, Ar, N2
End point detection: SE2000
Missing parts:
(5) Dry pump lacks
(2) Fault chillers
Abatement lack
(6) MFC Lacks
(2) Fault chamber process kits
(2) Fault ESC assemblies
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM TE是一個整合了控制化學蝕刻和灰化過程的最先進技術的模塊。TEL Telius SP 305 SCCM TE作為一種蝕刻器/灰化器,旨在提供對基板蝕刻、灰化和清潔活動的精確控制。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM TE采用靈活的設備體系結構,提供了對直流蝕刻（DCE）和交流電蝕刻（ACE）工藝的卓越控制。它能夠同時運行兩個過程,從而實現對蝕刻均勻性和產量的最佳控制。Telius SP 305 SCCM TE包括一個兩個月的控制接口,具有自動化的系統通信功能,簡化了蝕刻器/asher的設置和使用。這個控制單元與集成的監控和數據記錄配對，實時讀取溫度、壓力和電流等蝕刻變量。它還能夠選擇合適的材料加工配方，並采用數字邊緣控制進行編程，以優化工藝均勻性。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM TE的蝕刻器/asher設計能夠進行sandvikadiabatic蝕刻（SAE）。具有在深層高縱橫比蝕刻中最大限度地提高縱橫比和最小化冷卻時間的能力。該設備還提供了在高達150℃的溫度下的蝕刻功能以及溫度控制的各向異性蝕刻（TCAE）以控制底切或空心。TEL Telius SP 305 SCCM TE附帶了多種預編程蝕刻配方，允許用戶以最小的調整實現復雜的結構。它還設計了一個先進的安全機器，以保護用戶免受與蝕刻劑的任何接觸，並提供活動監控，以盡量減少蝕刻和灰化過程異常。這些獨特的屬性結合在一起，使得TOKYO ELECTRON TELIUS SP 305 SCCM TE成為市場上技術最先進的蝕刻器/灰燼機之一。通過提供對蝕刻/灰分工藝的卓越控制,用戶可以獲得一致、可重復的工藝控制,從而獲得更高的產量和更高的產品質量。
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