二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267844 待售
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ID: 9267844
Deep trench silicon etcher
FACE 1 (Controller)
FACE 2 (Controller)
(4) Chambers
(4) Gas boxes
QUARTZ
(2) AC Power
(4) Pumps
Pump stand
Parts:
(4) Buffer chamber pumps
(4) Chillers
Door
Chiller stand.
TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS是一款創新的蝕刻/asher設備,旨在為汽車制造商、消費電子公司和其他行業提供準確可靠的制造工藝。SP 308QS具有高扭矩的兩軸水平級,允許在廣泛的速度和加速度輪廓範圍內進行精確的高速級定位和處理。該系統先進的工藝控制確保了精確的溫度控制和蝕刻材料在基板表面積上的均勻沈積,從而實現了精確的蝕刻/灰化應用。TEL Telius SP 308QS利用先進的軟件來確保卓越的過程控制和可靠性。內置的基於CAD的配方程序提供一致的蝕刻性能,而內置的自動打印功能大大簡化了設計和原型設計的工作。該單元還允許輕松設置和配置多個蝕刻/灰化配方,從而簡化創建自定義蝕刻和灰化配方的過程。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS機設計了一個直觀的用戶界面,使用戶能夠快速配置、處理和監視蝕刻/收集器。該工具也是為了最大程度的安全而設計的。多個安全功能,包括CE標記、IP2X電氣外殼以及在緊急情況下自動終止流程,確保安全的工作場所並防止發生任何事故。Telius SP 308QS生產的半導體蝕刻/灰燼具有最高的質量和可重復性,確保了高效運行和高產率。資產配備了精密的工藝監視器,可以檢測蝕刻和灰化條件的最小變化,確保精確的工藝控制。該型號還具有通過內部和外部調整蝕刻和灰分配方進行微調的功能。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS能夠在廣泛的溫度和壓力範圍內進行蒸發和蝕刻過程。這樣可以確保最佳的晶片級處理,從而獲得最高的生產率。此外,該設備設計靈活,以便快速容納新的基板和工藝。這對於研究和開發以及各種復雜和苛刻的工藝的工業生產都是理想的選擇。TEL Telius SP 308QS是一個創新、可靠且安全的蝕刻/蝕刻系統,旨在以最高的工作效率和效率提供卓越的質量。該設備的高性能控制系統和集成的安全功能確保了安全的工作環境和一致的流程結果,使用戶能夠從其流程應用程序中獲得最大的價值。
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