二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267845 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS是為高級生產工藝而設計的蝕刻器/asher。它適用於3xnm及以下各種工藝技術中的內存和邏輯設備應用。蝕刻器/asher利用雙頻石英（DFQ）波導，為更廣泛的應用提供更高的能量。TEL Telius SP 308QS采用先進的腔室設計,提供卓越的工藝一致性和吞吐量.該設備采用室內靜電卡盤設計，可實現晶片與晶片之間的安全接觸、晶片的徹底清潔和光滑的蝕刻輪廓。此外,此蝕刻器/asher還具有四位置晶片,可在同一運行中實現不同的晶片大小,從而提高吞吐量和靈活性。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS采用真空密封結構,具有自動蓋子打開/關閉和Cryo-Vesicle捕獲選項。它還配備了與PBrF工藝控制單元協同工作的多層快門系統。這臺機器提供了對產品屬性的出色控制,並有助於在不同的工藝層和晶片之間保持一致的產量。Telius SP 308QS 蝕刻器/asher還提供一系列高級維護和安全功能。這包括用於提高可靠性的氣刀防爆工具和化學廢氣預防資產，以及用於提高安全性的晶圓定位單晶圓和機械臂保護系統。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS 蝕刻器/asher為高效、準確、可靠的性能而設計，非常適合高端蝕刻和灰化生產工藝。它提供了出色的控制、一致性和靈活性,使用戶能夠在生產過程中獲得可重復和可靠的結果。