二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267846 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS 蝕刻器/asher由TEL（TOKYO ELECTRON）設計制造，用於優化半導體制造和器件制造的自動實驗室。這款功能強大且先進的蝕刻器/asher通過提高精度、控制和效率,提供了超越傳統幹蝕刻工藝的功能。TEL Telius SP 308QS是使用ECR（除了ISO-Dry蝕刻工藝之外的查找表保形蝕刻）腔室，具有8英寸單晶片功能的批處理工具。配備射頻發電機、質量流控制器、設備控制器。蝕刻室有一個夾緊系統，以便在蝕刻時將加工晶片固定到位。該腔室能夠提供均勻等離子體生成、改進保形蝕刻、改進低溫蝕刻、提高重復性等均勻流動分布的最佳氣氛。SP 308QS為離子和非離子蝕刻提供生產性蝕刻工藝。ECR室是晶圓厚度監測的理想選擇，使用射頻發生器監測蝕刻過程以確保均勻蝕刻。它還支持電化學蝕刻、化學蒸氣蝕刻和反應性離子蝕刻（RIE）。SP 308QS旨在最大程度地提高每個過程步驟的均勻性、重復性和準確性。因此,它能夠在低壓和低功率模式下運行,從而提供更高的精度。SP 308QS的卓越控制能力提供了可重復的均勻晶片蝕刻。該單元還具有高對準精度選項，提高了金屬和多矽蝕刻在小空間中的精度。SP 308QS的其他功能包括縮短維護時間、精確的參數設置和用戶友好界面。此外，該機與流行的流程集成軟件如Cimquest的Servel II和其他與Cimquest相關的流程管理軟件系統高度兼容。SP 308QS還具有完整的工具自動化功能,並擁有創新的觸摸屏面板用戶界面。總體而言，TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS 蝕刻器/aser為批量半導體加工提供了優化的性能，允許小規模晶圓生產。SP 308QS 蝕刻器/Asher具有卓越的控制功能、先進的ECR技術和高效的操作,是各種自動實驗室應用程序研發項目的理想選擇。