二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 308QS #9267847 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS是一款功能強大且可靠的幹膜Asher,專為半導體和電子制造中要求最苛刻的應用而設計。這種高性能的設備能夠提供大大小小基板的精密蝕刻，包括DRAM、閃存、FRAM、SRAM、EPROM和EEPROM。此蝕刻器/asher利用雙梁技術在整個程序中實現均勻蝕刻。它包括一個光束柱（OBC）為每個單獨的蝕刻步驟定義蝕刻參數掩碼,一個存儲該OBC指令集的充電板,以及一個光束對準攝像機以確保最佳的光束對準。該系統裝有一個超精確的運動臺，兩個蝕刻頭可以獨立調整以達到最大精度。TEL Telius SP 308QS中的單向氣體輸送裝置確保了均勻的蝕刻結果。它配備了可調氣體壓力、流量，以及選擇N2、C2H2和O2的氣體選擇機。它包括種類繁多的蝕刻面膜，以創建廣泛的蝕刻圖樣，以及一個溫度和氧子控制工具，以保證蝕刻結果的一致性。TOKYO ELECTRON TELIUS SP 308QS實現了可重復的極高蝕刻速率，具有極好的線性度，在寬度和深度上的分辨率高達1微米。它還為各種晶圓尺寸和基材提供了均勻的蝕刻速率。該資產能夠以高清晰度和精確度蝕刻復雜表面,同時保持0.0005至0.002 µm/min的一致蝕刻速率。Telius SP 308QS專為方便維護而設計,並配有用戶友好的專用控制軟件,具有高級警報管理、數據管理和分析功能。它還具有圖形用戶界面、標準網絡連接、通過互聯網控制進行遠程訪問以及具有內部密碼保護的高級安全模型。該設備配有符合人體工程學設計的各種配件，可用於定制、高效的處理。