二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT #9204771 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DT是一種碳化矽化學機械平面化（SCCM）蝕刻器/灰化器。SCCM是利用化學蝕刻、機械拋光以及泥漿的反復泛濫和去除相結合的方法對基板進行精確擾動的過程，以實現所需的表面和平面化。TEL Telius SP SCCM DT為需要以納米級分辨率平面化材料的制造商和工程師提供了解決方案。TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DT設計了多種腔室尺寸，以容納多種基板，包括矽片、復合半導體、玻璃、低k電介質。Telius SP SCCM DT具有廣泛的基板處理能力,是各種蝕刻和平面化工藝的最佳選擇。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DT利用先進的直驅設計與渦輪鼓風機結合多軸直驅卡盤，以確保精確的對準、負載均勻性和可重復的最終結果。TEL Telius SP SCCM DT提供三階段、高性能的蝕刻工藝。在第一階段，一種含有磨料顆粒的漿料被用來去除表面特征，例如由先前的圖樣造成的凹陷和臺階。第二階段使用化學蝕刻有選擇地蝕刻掉預定的區域，如溝槽或通道，並為隨後的平面化階段準備表面。在第三階段，使用非磨料漿料來平滑表面特征並創建平面表面。除了其高效的蝕刻工藝外，TOKYO ELECTRON Telius SP SCCM DT還具有先進的監控設備。該系統提供操作參數的實時反饋,並允許從頭到尾監控統計過程。此外，Telius SP SCCM DT包含眾多安全環保功能，如主動排氣、級聯層氣體控制器、雙級安全快門單元等。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP SCCM DT是一款可靠、高性能的蝕刻和平面化機器,為用戶提供了一種有效、可靠的蝕刻和平面化解決方案。TEL Telius SP SCCM DT是各種應用的理想選擇,專為提高準確性、效率和可靠性而設計。