二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP #293634370 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP是一款最先進的蝕刻器/asher,它提供了改進的過程控制、無人駕駛能力和靈活性。該設備適用於晶片級加工應用，具有較高的蝕刻選擇性，具有深度蝕刻工藝、快速化學輔助蝕刻以及蝕刻和背面濺射工藝。其用戶友好的界面和卓越的吞吐量為廣泛的應用程序提供了高水平的性能。TEL Telius SP系統配備精密激光基晶片級、精密晶片監視單元和先進的過程控制。由於其高可重復性和最大的定位速度,其設計實現了高度可靠、可重復的過程和高蝕刻精度。它不僅能夠進行晶圓背面激光視頻檢查和自動標記過程，而且能夠進行自動背面時間和溫度控制以及閉環對準。背面濺射和蝕刻過程可以在TOKYO ELECTRON Telius SP上一口氣進行。通過其特殊的氣體控制系統和全自動的背面濺射和蝕刻過程，包括清潔，加快了這一過程。該機還配備了內置惰性氣體機，並具有突破室和排氣能力，為腔室環境提供最大限度的保護。Telius SP上具有晶圓激光器能力的輸送機構使用微機控制的航天飛機，以確保晶圓的可靠傳輸。此過程為長期過程提供了卓越的可重復性、準確性和可靠性。該工具具有高生產率界面和自動完成等自動化功能,可最大程度地減少用戶輸入和錯誤。通用晶圓尺寸支持允許對各種晶圓尺寸進行高效處理，尺寸從8英寸到200毫米。資產除了常見的玻璃、石英、熔融二氧化矽等基材外，還支持多種不同的工藝基材，包括氧化矽和聚酰亞胺。綜上所述,TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP是一款高級蝕刻器/Asher,提供出色的工藝控制、卓越的生產效率和靈活的工藝能力。該模型具有激光晶片級、晶片視頻檢測、自動背面蝕刻和濺射以及通用晶片支撐等特點，在各種晶片尺寸和工藝基板上均提供卓越的重復性、準確性和可靠性。